Wasser für kleinere Chips

Artikel erschienen in Swiss IT Magazine 2004/08

Bisherige Lithografie-Tools für Strukturbreiten von 90 Nanometern können auch für die nächste Generation von Halbleitern bis auf 45 Nanometern hinunter verwendet werden. Möglich machen dies die Lichtbrechungseigenschaften von Flüssigkeiten. In der Mikroskopie wird der Effekt in umgekehrter Richtung schon lange für eine zusätzliche Steigerung der Auflösung verwendet. Forscher des Rochester Institute of Technology haben nun gezeigt, dass Wasser als Flüssigkeit die gewünschten Eigenschaften zeigt und mit den heutigen Halbleiterherstellungsverfahren vereinbar wäre.

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